Интеграция — это главная содержательная часть. Вместо того чтобы измерять пластины отдельно после обработки, система производит замеры до и после полировки и передает данные в реальном времени в систему управления, сообщает South China Morning Post.
Почему полировка важнее, чем кажется на первый взгляд
Химико-механическая полировка выравнивает и сглаживает кремниевый диск между технологическими слоями. Современные чипы содержат десятки слоев, и каждый из них должен быть плоским с точностью до нанометров, иначе следующий слой наложится некорректно.
Это неброская работа, которая определяет выход годной продукции. Замыкание контура измерений должно улучшить однородность пластин и сократить отходы, что особенно важно для страны, чьи фабрики используют более старую литографию и нуждаются в каждом проценте выхода.
Цифра из анонса
Шесть дюймов — это 150 мм. Передовая логика работает на 300-миллиметровых пластинах, а узлы с проектными нормами менее 10 нм, для ограничения которых и существуют экспортные ограничения, не производятся больше нигде.
Формат 150 мм относится к зрелым техпроцессам и полупроводникам с широкой запрещенной зоной, и даже там он постепенно уходит в прошлое. Силовые приборы из карбида кремния в массовом производстве уже переходят с 150 мм на 200 мм, в то время как нитрид галлия движется от 200 мм к 300 мм.
Все это не делает данный инструмент маловажным. Но это означает, что речь идет о шаге на ступеньках лестницы, а не о прыжке на ее вершину.
Чего на самом деле добилась Hwatsing
Послужной список компании говорит о многом. Доля Китая на мировом рынке оборудования для CMP выросла примерно с 1,5% в 2022 году почти до 11% в 2023 году, причем основная часть этого прироста пришлась на Hwatsing, согласно данным Центра безопасности и новых технологий Джорджтаунского университета.
Это подтверждается и объемами производства. В апреле Hwatsing отгрузила свою тысячную систему CMP и заявила, что следующей ее целью станет производство передовых чипов.
Компания инвестирует соответствующие средства: она привлекает до 4 миллиардов юаней (около 552 миллионов долларов) посредством частного размещения акций для расширения мощностей, создания услуг по восстановлению пластин и финансирования разработки высококлассного оборудования. Также реализуется проект по строительству отдельного завода стоимостью 237 миллионов долларов.
Applied Materials по-прежнему уверенно лидирует на рынке CMP, а доля Ebara на мировом рынке составляет около 27%. Одиннадцать процентов — это реальная позиция, но пока не доминирующая.
Проблема литографии, которую это не решает
Полировальные инструменты не являются главным узким местом. ASML остается единственной компанией, производящей машины для EUV-литографии, и Китай не может купить их ни за какие деньги из-за экспортных ограничений под руководством США.
Именно здесь разворачивается наиболее важная работа. У отечественной китайской иммерсионной установки DUV теперь есть имя — Shanghai Aishengna, и собственная машина DUV имела бы гораздо большее значение, чем модернизация измерительного оборудования, хотя независимые аналитики скептически оценивают заявленные там успехи.
Скрытая стратегия
Подход Пекина заключается в том, чтобы закрывать все возможные пробелы, пока самый сложный остается заблокированным. Самообеспеченность Китая полупроводниковым оборудованием, по имеющимся данным, достигла примерно 35% по сравнению с примерно 25% двумя годами ранее.
Вашингтон взвешивает возможность введения новых ограничений на продажи чипового оборудования, в то время как Пекин утверждает, что разрыв цепочки поставок наносит ущерб всем ее участникам. Каждый новый раунд ограничений лишь ускорял локализацию, которую они должны были предотвратить.
Как выглядит успех, когда он приходит
Китай уже доказал, что способен создать чипмейкера мирового масштаба в том сегменте, где инструменты доступны. Производитель памяти CXMT взлетел на 466% во время своего дебюта на Шанхайской бирже, став самой дорогой публичной компанией по производству DRAM в стране.
Спрос тоже растет. Apple начала тестировать чипы памяти CXMT, что является едва ли не самым громким признанием, которое может получить китайский производитель микросхем.
CXMT по-прежнему зависит от иностранного оборудования, которое не всегда удается достать. Именно от этой зависимости призваны избавиться такие инструменты, как разработки Hwatsing — шаг за шагом в технологическом процессе, что происходит медленнее, чем технологический прорыв, но зато против этого сложнее ввести санкции.
Опубликовано 8 августа 2026 - 04:53 Наверх
