Ответ Китая компании ASML работает на линзах Zeiss, сообщает Financial Times

Усилия Китая по созданию собственных машин для производства чипов наконец-то обрели координатора. Им стала компания Huawei. И флагманская машина, координацией которой она занимается, по-прежнему работает на немецких линзах.

Элеонор Олкотт (Eleanor Olcott) и Цзицзин Ву (Zijing Wu) сообщили об этой договоренности для Financial Times, ссылаясь на нескольких человек, знакомых с ситуацией. TNW не смогла независимо подтвердить эту информацию.

Huawei инвестирует во всю отрасль, поставляющую оборудование для литографии. Она также помогает этим поставщикам внедрять свои машины на китайские предприятия, включая SMIC. Литография — это этап, на котором схемы печатаются на кремнии. Это единственный компонент производства чипов, который Китаю так и не удалось заменить.

Что представляет собой это соглашение на самом деле

Ли Цинъюань (Lin Qingyuan), аналитик по полупроводникам в Bernstein, дал FT наиболее четкое описание ситуации.

«Huawei играет роль проектного менеджера в стремлении Китая развивать DUV-технологии», — сказал он. Сам по себе прототип ничего не дает, добавил он. Эта работа требует слаженных действий тысяч поставщиков и клиентов, а также «центральной координирующей силы, способной объединить эти усилия».

Это описывает роль, которую раньше никто не выполнял. У Китая годами были амбиции в области литографии и разрозненные поставщики. Чего ему не хватало, так это кого-то с достаточными деньгами и влиянием, чтобы заставить фабрику сделать выбор в пользу не проверенного отечественного инструмента.

Компания в центре событий и опровержение

Yuliangsheng, шанхайский производитель оборудования, совместно разработал первую китайскую передовую машину глубокого ультрафиолетового излучения (DUV). SMIC тестирует ее, и Huawei также испытывает ее на собственных производственных линиях.

Компания была выделена из SiCarrier. Ранее FT сообщала, что SiCarrier имеет тесные технические и деловые связи с Huawei. Huawei отрицает какую-либо связь с SiCarrier. Это опровержение выглядит неловко на фоне имеющихся репортажей, и оба факта заслуживают упоминания.

Мы уже сталкивались с Yuliangsheng ранее. В июле TNW сообщала, что государственная группа Shanghai Aishengna поглощает команды из китайских литографических стартапов, среди которых была и Yuliangsheng. Теперь FT описывает Yuliangsheng как дочернюю компанию SiCarrier, создающую собственную машину.

Эти две версии не совпадают, и никто официально не подтвердил ни одну из них. Корпоративная структура китайской литографии пока не является устоявшимся фактом. Любой, кто пишет об этом, должен это учитывать.

Проблема Zeiss

Вот деталь, которая подрывает весь проект, и FT изложила ее предельно прямо.

По словам двух человек, знакомых с ситуацией, Yuliangsheng использует проекционные линзы производства Zeiss. В Zeiss заявили, что продают свою литографическую оптику только компании ASML. Инсайдеры индустрии сообщили FT, что эти линзы можно приобрести на вторичном рынке в Китае.

Никто в этом абзаце не утверждает ничего противозаконного, и мы тоже. Но посмотрите, что здесь описывается. Машина, созданная для обхода экспортного контроля, в настоящее время зависит от компонента, который ее производитель не продает в эту страну.

Huawei работает над этим. Ее венчурное подразделение Habo и второй фонд, поддерживаемый Huawei, инвестировали в Fujian Zhiqi Photonics. Эта компания является производителем ультраточной оптики, выделившимся из котирующейся на Шэньчжэньской бирже группы Castech в 2022 году. В 2023 году фонд приобрел 37% акций примерно за 15 миллионов долларов.

Castech заслуживает повторного внимания. Она берет свое начало в институте Китайской академии наук и производит оптические кристаллы для лазерных систем. Компания также заявляла, что ее клиентами являются как ASML, так и Huawei. Таким образом, поставщик ASML создал компанию, которая теперь финансируется Huawei с целью вытеснения поставщика линз для самой ASML.

Второе «узкое место» — это свет

Машина DUV состоит из десятков тысяч деталей, распределенных примерно по дюжине основных групп компонентов. Китай отстает в двух из них, и вторая — это источник света.

Японская Gigaphoton и принадлежащая ASML Cymer доминируют на этом рынке. «Создать источник света легко, — сказал Ли, — но сделать так, чтобы он работал очень стабильно при такой высокой мощности — трудно».

Beijing RSLaser Opto-Electronics — это отечественная разработка, в которую также инвестировала компания Habo. Она поставляла источники света для более старых машин от Shanghai Micro Electronics Equipment. Китайские СМИ сообщают, что сейчас она работает с SMEE над источником для 28-нанометрового инструмента.

На какой стадии находится этот процесс

Yuliangsheng рассчитывает произвести 12 машин DUV к концу этого года. Ранее FT сообщала, что SMIC тестирует 28-нм инструмент Yuliangsheng. SMIC использует его в паре с многократным проходом (multi-patterning) — техникой, при которой пластина многократно прогоняется через машину для получения 7-нм чипов.

Это звучит ближе к цели, чем есть на самом деле. Аналитика UBS, опубликованная в этом месяце, оценивает уровень китайской литографии примерно там, где ASML находилась в 2004 году. Ли сообщил FT, что этим машинам потребуются еще несколько лет, чтобы приблизиться к производительности ASML.

Коммерческие факты подтверждают это. Фабрики, включая SMIC, купили отечественные инструменты и тестируют их. Производство они по-прежнему осуществляют на оборудовании ASML. Ожидается, что продажи голландской компании в Китае составят около пятой части ее выручки в этом году, а CXMT и YMTC, как сообщается, накопили достаточно машин ASML, чтобы покрыть трехлетний период расширения.

Между тем цель продолжает смещаться

Сокращаемый разрыв не стоит на месте.

На этой неделе ASML работала совместно с TSMC над переходом на 12-дюймовые фотошаблоны. Смысл в том, чтобы позволить машинам High NA печатать крупнейшие ИИ-чипы за один экспонирующий проход. Таким образом, Китай тестирует 28-нм DUV в то время, как ASML перепроектирует технологии верхнего сегмента рынка.

Такова реальная картина. Отечественные инструменты реальны, они устанавливаются и преследуют движущуюся цель, при этом две группы компонентов все еще остаются нерешенными.

Аргумент, который должен встревожить Вашингтон

Ли завершил мысль тезисом, который противоречит политике, лежащей в основе всего этого.

По его словам, ограничения США могут ускорить прогресс Китая, а не замедлить его, подталкивая местные фабрики к сотрудничеству с локальными поставщиками. «Если ограничения заставят местные заводы сотрудничать с местными DUV-поставщиками, они смогут нарастить свои технологические возможности гораздо быстрее, чем ожидалось».

Эта схема уже знакома. Экспортный контроль уже подтолкнул китайские компании к созданию специализированных кремниевых чипов вместо того, чтобы остановить их. Fab (производственное предприятие) не испытывает недостатка в желании покупать отечественное. Чего ему не хватает, так это терпимости к снижению выхода годной продукции в период доработки непроверенного инструмента. Ограничения устраняют альтернативу, которая делает такие потери невыносимыми.

За чем следить

Будут ли поставлены 12 машин и кому именно.

Поставит ли Fujian Zhiqi линзу, которая заменит деталь от Zeiss. Это станет самым четким тестом на то, превратится ли проект в отечественную цепочку поставок или останется сборкой из импортных компонентов.

И за показателем выручки ASML в Китае. Это <пятая часть бизнеса> и самый отслеживаемый показатель в европейских технологиях. Когда он начнет падать по причинам, не связанным с экспортной политикой, этот проект сработает.